UL1000Fab

稳定性和灵敏度的新疆界,
检漏低达 10 -12 atm/css
The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借绝佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。
通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的最佳真空结构,UL1000 Fab 提供的前所未有的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。专利软件 I-CAL(智能泄漏率计算法)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。
使用额外的 TC1000 测试盒配件,UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试,如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管(根据 MIL-STD 883,方法 1014)。

功能

  • 15 级的宽测量范围
  • 较短的抽气和响应时间
  • 移动式全金属外壳,增加了便利性,具有绝对可操作性
  • I-CAL 确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间
  • 抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的测试结果
  • 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气抽气能力和高压缩比
  • 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
  • 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
  • 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
  • 通过电子邮件进行软件更新
  • 含两个灯丝离子源(3 年质保)的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
  • 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

  • 对半导体加工工具执行维护作业,无论是否具有自有泵支持
  • 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
  • 在现有工具中安装前对部件执行检漏
  • 工艺气体系统的检查和安装
  • 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

规格

类型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦气(真空模式)最低可检漏率 mbar•L/s <5E-12
氦气(真空模式)最低可检漏率 mbar•L/s <5E-12
氦气(吸枪模式)最低可检漏率 mbar•L/s 8E-8
GROSS 模式最大进气口压力 mbar 15
FINE 模式最大进气口压力 mbar 2
ULTRA 模式最大进气口压力 mbar 0.4
抽真空期间的抽气能力 m³/h 25 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力 L/s max. 8
FINE 模式氦气抽气能力 L/s 7
ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 2.5
可检测质量数 2,3,4 amu
质谱仪扇形场 180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2
内置校准漏孔 mbar•L/s e-7
测试端口 DN 25 KF 1
可调触发器 2
接口 RS 232
图形记录器输出 V 2 x10
输入/输出 PLC compatible
允许的环境温度(操作过程中) °C +10.....+40
保护类型 IP 20
重量 110
尺寸(长x宽x高) 1068x525x850
电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
功耗 VA 1100
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